真空中伺服電機如何操作，注意事項有哪些？

排氣！

您可能認為合適的電機尺寸是一個大問題，情況總是如此，但如果您無法滿足其他工藝要求，嘗試調整電機尺寸是沒有意義的。對于在特定過程中在給定真空下運行的任何給定電機選擇，最大的問題是除氣要求，或者更確切地說，避免使用會影響正在執(zhí)行的過程和/或電機壽命的材料。

了解工藝要求是關鍵：真空、除氣規(guī)格和限制，以及對應用的期望（工藝和電機壽命）。

除氣示例：特氟龍鉛絕緣層的除氣性能較低，但如果在輻射環(huán)境中使用，則不會像其他一些材料那樣耐用。在這種情況下，Tefzel絕緣材料可能是更好的應用材料。（可能不會更好，您需要檢查其材料信息并與其他產品進行比較。）或者，您可能擁有在輻射環(huán)境中具有良好除氣特性的軸承潤滑脂，但它與典型的半導體制造工藝不兼容。利用NASA A級要求是原始設備制造商、客戶和電機制造商之間溝通的一個非常好的基線。該標準可以為單個應用程序的相同除外更改奠定基礎。

NASA 的標準是：{ < 1.0% TML（總質量損失），< 0.1% CVCM（收集到的揮發(fā)性可冷凝物質）}

關于正確的電機選擇，已經發(fā)現對于通常在標準大氣中運行的應用（例如在制造工廠），計算出的 RMS 扭矩要求需要具有以下能力的電機的計算出的 RMS 扭矩值的 2.6-3 倍 在真空中操作時。 這可以與正常大氣中銅的載流能力與真空中銅的載流能力之間的差異進行比較。