金屬薄膜和陶瓷厚膜傳感器的區(qū)別

　　金屬薄膜傳感器

　　金屬薄膜傳感器的主體和膜片通常由不銹鋼制成。通過在自動(dòng)精密車床上加工隔膜，然后研磨、拋光和研磨，可以制造出所需的材料厚度。在隔膜的不與介質(zhì)接觸的一側(cè)，絕緣層、應(yīng)變儀、補(bǔ)償電阻器和導(dǎo)電路徑，通過化學(xué)(化學(xué)氣相沉積)和物理(PVD)工藝的組合來施加，并且通過使用蝕刻的光刻來構(gòu)造。

　　這些過程是在潔凈室和特殊工廠中進(jìn)行的，有些部分是在真空或惰性氣氛中進(jìn)行的，從而可以生產(chǎn)出高原子純度的結(jié)構(gòu)。傳感器上制作的電阻和導(dǎo)電路徑明顯小于微米，因此被稱為薄膜電阻。

　　由于使用的材料，金屬薄膜傳感器非常穩(wěn)定。此外，它還能抵抗沖擊和振動(dòng)載荷以及動(dòng)壓元件。因?yàn)槭褂玫牟牧鲜强珊附拥?，所以傳感器可以焊接到壓力連接-氣密密封上，而不需要任何額外的密封材料。由于材料的延展性，傳感器的超壓范圍相對(duì)較低，但爆破壓力很高。

　　陶瓷厚膜傳感器

　　陶瓷厚膜傳感器的主體和膜片由陶瓷制成。氧化鋁(Al2O3)因其穩(wěn)定性和良好的加工性能而得到廣泛應(yīng)用。四個(gè)應(yīng)變計(jì)通過絲網(wǎng)印刷工藝以厚膜膏的形式涂覆在隔膜不與壓力介質(zhì)接觸的一側(cè)，然后高溫?zé)?，用保護(hù)涂層鈍化。絲網(wǎng)印刷和老化過程中不允許有雜質(zhì)。因此，制造通常在潔凈室進(jìn)行。只有領(lǐng)先的制造商才能以適當(dāng)?shù)母綦x操作他們的工廠，以避免任何交叉污染，從而保持高工藝穩(wěn)定性

　　用于傳感器的陶瓷非常耐腐蝕。然而，將傳感器安裝到壓力測(cè)量儀器外殼中需要額外的壓力連接密封，該密封不能抵抗所有介質(zhì)。另外陶瓷比較脆，所以爆破壓力比金屬薄膜傳感器低。